2025
08-11
08-11
EUV随便买就是任性 SK海力士DDR5内存用上6层EUV NEW
快科技8月11日消息，逻辑芯片在进入5nm节点之后全面使用了EUV工艺，存储芯片使用DUV工艺为主，这四五年才刚开始尝试EUV工艺，现在SK海力士公司更为激进，新一代DDR5将使用6层EUV光刻。大家都知道，相比于DUV光刻，EUV光刻的13.5nm波长更短，光刻精度更高，有助于提告密度，减少工艺复杂性，以往需要多次光刻的步骤在EUV上可能一次就够了，这对DRAM内存芯片来说也是适用的。三星早在2020年就率先宣布在内存芯片中使用EUV光刻，美光随后也跟上了，SK海力士晚了一...
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