快科技12月22日消息，据媒体报道，荷兰半导体设备制造巨头阿斯麦（ASML）确认，向英特尔交付首台高数值孔径（NA）的极紫外（EUV）光刻系统。数值孔径是用来衡量光学系统能够收集的光的角度范围，通过增大数值孔径，可以实现更小的分辨率和更高的分辨能力，从而满足微细加工的要求。
据介绍，每台新机器的造价成本超过3亿美元（约合21.4亿元人民币），可以满足一线芯片制造商的需求，未来十年内能够制造更小、更好的芯片。 阿斯麦发布了这台机器的一部分从荷兰维尔德霍芬总部出发的照片，照片中机器的一部分被装在一个保护盒里，周围还系着一条红丝带。阿斯麦同时表示：“我们很兴奋，也很自豪能将我们的第一个高数值孔径EUV系统交付给英特尔。”
这台机器组装后将比一辆卡车还大，将用250个单独的板条箱运送，其中包括13个大集装箱，预计将从2026年或2027年开始用于商用芯片制造。除了英特尔外，台积电、三星、SK海力士和美光等也都订购了这款机器。
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