2022
06-28
06-28
26亿一台！ASML全新光刻机准备中：Intel提前锁定 冲击2nm工艺 NEW
对于芯片厂商而言，光刻机显得至关重要，而ASML也在积极布局新的技术。据外媒报道称，截至 2022 年第一季度，ASML已出货136个EUV系统。按照官方的说法，新型号的EUV光刻机系统 NXE:3600D将能达到93%的可用性，这将让其进一步接近DUV光刻机（95%的可用性）。数据显示，NXE:3600D系统每小时可生产160个晶圆 (wph)，速度为30mJ/cm，这比 NXE:3400C高18%。二正在开发的 NXE:3800E系...
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